掃描電子顯微鏡(SEM)是一種介於透無線電子顯微鏡和光學顯微鏡之間的一種觀察手段。那麼掃描電鏡與透無線電鏡有什麼區別？
1、結構差異：主要體現在樣品在電子束光路中的位置不同。透無線電鏡的樣品在電子束中間，電子源在樣品上方發無線電子，經過聚光鏡，然後穿透樣品後，有後續的電磁透鏡繼續放大電子光束，最後投影在熒光屏幕上;掃描電鏡的樣品在電子束末端，電子源在樣品上方發射的電子束，經過幾級電磁透鏡縮小，到達樣品。當然後續的信號探側處理系統的結構也會不同，但從基本物理原理上講沒什麼實質性差別。
2、基本工作原理：透無線電鏡：電子束在穿過樣品時，會和樣品中的原子發生散射，樣品上某一點同時穿過的電子方向是不同，這樣品上的這一點在物鏡1-2倍焦距之間，這些電子通過過物鏡放大後重新匯聚，形成該點一個放大的實像，這個和凸透鏡成像原理相同。這裏邊有個反差形成機制理論比較深就不講，但可以這麼想象，如果樣品內部是絕對均勻的物質，沒有晶界，沒有原子晶格結構，那麼放大的圖像也不會有任何反差，事實上這種物質不存在，所以才會有這種儀器存在的理由。
3、掃描電鏡：電子束到達樣品，激發樣品中的二次電子，二次電子被探測器接收，通過信號處理並調製顯示器上一個像素髮光，由於電子束斑直徑是納米級別，而顯示器的像素是100微米以上，這個100微米以上像素所發出的光，就代表樣品上被電子束激發的區域所發出的光。實現樣品上這個物點的放大。如果讓電子束在樣品的一定區域做光柵掃描，並且從幾何排列上一一對應調製顯示器的像素的亮度，便實現這個樣品區域的放大成像。
以上就是關於掃描電鏡與透無線電鏡有什麼區別的全部內容。
