真空傳感器由玻璃襯底、下電極、絕緣層、硅膜片（上電極）、上層密封用的玻璃組成，其中下電極濺射在玻璃襯底上，電極上生長一絕緣層；硅膜是利用硅片的雙面光刻、擴散和各向異性腐蝕技術形成的。那麼真空度傳感器的工作原理是什麼呢？
1、真空傳感器的工作原理是介質的壓力直接作用在傳感器的膜片上，使膜片產生與介質壓力成正比的微位移，使傳感器的電阻發生變化，和用電子線路檢測這一變化，並轉換輸出一個對應於這個壓力的標準信號。
2、真空傳感器是工業實踐中常用的一種壓力傳感器，其廣泛應用於各種工業自控環境，涉及石油管道、水利水電、鐵路交通、智能建築、生產自控、航空航天、軍工、石化、油井、電力、船舶、機牀、通風管道等眾多行業。
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