蒸臉器用蒸餾水或純淨水最好，因為這樣的水沒有雜質，加熱後也不會分解出有害的物質。這樣的水也易於被皮膚所吸收，也不會對皮膚造成壞的影響。
可以在蒸臉的蒸餾水和純淨水中滴入幾滴精油，因為精油加熱後分解出的物質對蒸臉器和皮膚也有損害，但是隻加幾滴卻可以延伸蒸臉器的使用效果，根據精油的不同效果可以讓蒸臉的效果也有所不同。
蒸臉器最好不用自來水，自來水沒有經過處理，其中含有很多的雜質，使用自來水加熱後會分解出對蒸臉器有害的物質，不僅會損傷到蒸臉器，噴到臉上還會對皮膚和眼睛有影響，而且自來水在使用完後，會產生水垢，水垢不好清潔，清潔不乾淨還會損害蒸臉器。
蒸臉器不能用礦泉水，不要以為礦泉水就是純淨水，礦泉水中其實也是含有雜質的，使用礦泉水蒸臉同樣會給皮膚和眼鏡帶來傷害，而且礦泉水使用後也會留下水垢，如果老是用礦泉水蒸臉，那麼不僅皮膚不好，蒸臉器也壽命無幾了。
蒸臉器也不能用化粧水，蒸臉器中不但不能放自來水，因為化粧水在加熱後同樣會分解出有害的物質，不僅會讓蒸臉器提前報銷，還可能傷害到眼睛和皮膚，所以千萬不要用化粧水蒸臉。
